热控制装置(陶瓷加热器)

热控制装置-陶瓷加热器-

住友电机通过将其专有的高功能材料技术与工艺技术(如金属化、连接、密封)和热设计技术相结合，提供具有优异热特性的热控制设备。这些技术应用于半导体制造设备的加热器，实现了优越的温度均匀性和快速加热和冷却特性。